MEMS Non-Absorbing Electromagnetic Power Sensor Employing the Effect of Radiation Pressure
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
New Design of Mems piezoresistive pressure sensor
The electromechanical analysis of a piezoresistive pressure microsensor with a square-shaped diaphragm for low-pressure biomedical applications is presented. This analysis is developed through a novel model and a finite element method (FEM) model. A microsensor with a diaphragm 1000 „m length and with thickness=400 µm is studied. The electric response of this microsensor is obtained with applyi...
متن کاملModeling of capacitance and sensitivity of a MEMS pressure sensor
In this paper modeling of capacitance and sensitivity for MEMS capacitive pressure sensor is presented. In capacitive sensor the sensitivity is proportional to deflection and capacitance changes versus pressure. Therefore first the diaphragm displacement, capacitance and sensitivity of sensor with square diaphragm have been modeled and then simulated using finite element method (FEM). It can b...
متن کاملRF MEMS sensitivity to electromagnetic radiation
Silicon dioxide and silicon nitride as well as other insulating materials are used in micro-electro-mechanical systems. However, their tendency for electrostatic charging diminishes the device reliability. The charging effect becomes significant when these devices are subjected to ionizing radiation. The irradiation induced charging depends on the nature of irradiation, the underlying metal lay...
متن کاملon the effect of linear & non-linear texts on students comprehension and recalling
چکیده ندارد.
15 صفحه اولanalysis of power in the network society
اندیشمندان و صاحب نظران علوم اجتماعی بر این باورند که مرحله تازه ای در تاریخ جوامع بشری اغاز شده است. ویژگیهای این جامعه نو را می توان پدیده هایی از جمله اقتصاد اطلاعاتی جهانی ، هندسه متغیر شبکه ای، فرهنگ مجاز واقعی ، توسعه حیرت انگیز فناوری های دیجیتال، خدمات پیوسته و نیز فشردگی زمان و مکان برشمرد. از سوی دیگر قدرت به عنوان موضوع اصلی علم سیاست جایگاه مهمی در روابط انسانی دارد، قدرت و بازتولید...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Proceedings
سال: 2018
ISSN: 2504-3900
DOI: 10.3390/proceedings2130767